蒸汽恒溫箱濕度的控制精度除了受測濕手段制約外，還與加濕方式有關，在蒸汽恒溫箱中加濕的方法很多，通用的有以下三種：
　　a.水盤式加濕。分為自然蒸發和電加熱蒸發，此種加濕方法加濕的速率慢。控制精度較低，多適合于恒溫恒濕箱。
　　b.噴蒸汽加濕。加濕的速率快，但加濕的波動度大，容易實現快速控制，控制精度較好，但由于噴入100℃蒸汽，對蒸汽恒溫箱箱內的溫度狀態會產生少量的干擾。
　　c.噴霧化的水。霧化水的微粒直徑大體在10~50μ此種方法具有噴蒸汽加濕的優點，又不需要外置蒸汽鍋爐，并且可以調整噴水微粒的溫度和箱體內試驗溫度相同，是一種比較好的加濕方式。
    蒸汽恒溫箱中測量濕度多數是采用價格低廉的干濕球法，在高濕(80~100%RH)情況下，干濕球溫差1℃，對應于相對濕度相差5%左右。根據測試裝置的精度不應低于試驗條件允差三分之一原則(見國軍標GJB150.1-86)，溫差1℃要求干球和濕球本身溫度測量的允差為±0.7℃，則溫度的測量精度液壓達到0.2℃。依此類推，相對濕度誤差為±3%RH。要求溫度測量精度應達到±0.1℃。故采用干濕球法測量相對濕度的誤差通常為±(3~5)%
　　RH，溫度測量精度如此，蒸汽恒溫箱濕度的控制精度也就可想而知了。
　　蒸汽恒溫箱為克服干濕球法測量精度不高，且受人為操作影響過大的缺點，近十幾年固體式濕度敏感頭(如電容式濕度傳感器)在解決了低溫(-55~70℃)下使用的問題后，已開始應用到環境試驗設備中，其測量精度可達到±1~3%RH。美國不測公司生產的溫濕度箱均已配置固體式濕度傳感器。